Sasaran sputtering tahan suhu tinggi memainkan peranan penting dalam banyak bidang berteknologi tinggi, terutamanya dalam senario aplikasi yang memerlukan kestabilan suhu tinggi. Berikut adalah pengenalan kepada 10 sasaran sputtering tahan suhu tinggi:
Sasaran aloi molibdenum dan molibdenum
Ciri-ciri: Molibdenum adalah logam perak kelabu dengan titik lebur sehingga 2623 darjah dan ketumpatan 10.2g/cm³. Molybdenum dan aloinya mempunyai kelebihan titik lebur yang tinggi, kekonduksian elektrik dan terma yang baik, pekali pengembangan haba yang rendah, rintangan kakisan yang sangat baik dan keramahan alam sekitar.
Permohonan: Sasaran aloi molibdenum dan molibdenum telah digunakan secara meluas dalam peralatan elektronik, sel solar dan salutan kaca.
Sasaran logam ruthenium
Ciri -ciri: Sasaran ruthenium mempunyai rintangan haba yang baik, rintangan kakisan dan kekuatan mekanikal, dan sesuai digunakan dalam suhu tinggi, tekanan tinggi dan persekitaran yang menghakis.
Proses Penyediaan: Letakkan serbuk ruthenium ke dalam acuan grafit, padat dan masukkannya ke dalam relau menekan vakum untuk sintering menekan panas unidirectional. Proses sintering dijalankan di bawah atmosfera gas pelindung, suhu sintering adalah 1600-1800 darjah, dan tekanan sintering adalah 5-20 mpa.
Permohonan: Sasaran ruthenium boleh digunakan untuk pemendapan filem nipis peranti elektronik, serta penyediaan filem nipis optik dan salutan optik.
Sasaran aluminium kemurnian ultra tinggi
Ciri -ciri: Sasaran aluminium mempunyai kesucian yang tinggi dan kekonduksian yang sangat baik, sesuai untuk penyediaan lapisan konduktif dan lapisan penghalang peranti semikonduktor.
Status Pasar: Dianggarkan bahawa pasaran sasaran aluminium aluminium ultra-tinggi global akan mencapai AS $ 380 juta pada tahun 2029, dengan CAGR sebanyak 5.6%.
Target Copper Indium Gallium Selenide (CIGS)
Ciri-ciri: Sasaran CIGS digunakan terutamanya dalam pengeluaran sel solar filem nipis.
Permohonan: Dengan perkembangan pesat industri solar, permintaan untuk sasaran CIGS juga semakin meningkat.
Sasaran Indium Tin Oxide (ITO)
Ciri -ciri: Sasaran ITO terutamanya digunakan untuk membuat filem konduktif telus dan digunakan secara meluas dalam skrin sentuhan dan paparan panel rata.
Kedudukan pasaran: Dengan permintaan yang semakin meningkat untuk elektronik pengguna, kedudukan pasaran sasaran ITO menjadi semakin penting.
Sasaran tungsten
Ciri-ciri: Tungsten mempunyai titik lebur yang tinggi (3422 darjah) dan rintangan haus yang sangat baik, yang sesuai untuk pemendapan sputtering bahan suhu tinggi dan tahan haus.
Permohonan: Sasaran tungsten digunakan secara meluas dalam semikonduktor, peranti elektronik, dan lapisan tahan haus.
Sasaran titanium
Ciri -ciri: Sasaran titanium mempunyai rintangan kakisan yang baik dan biokompatibiliti, dan sesuai untuk pemendapan alat perubatan dan biosensor.
Permohonan: Dengan perkembangan teknologi perubatan yang berterusan, sasaran titanium mempunyai prospek aplikasi yang luas dalam bidang peranti perubatan.
Sasaran tantalum
Ciri-ciri: Sasaran Tantalum mempunyai titik lebur yang tinggi (2996 darjah) dan kestabilan kimia yang sangat baik, yang sesuai untuk pemendapan sputtering bahan suhu tinggi dan bahan kimia yang stabil.
Permohonan: Sasaran Tantalum digunakan secara meluas dalam peranti elektronik, aeroangkasa dan industri kimia.
Sasaran niobium
Ciri -ciri: Sasaran Niobium mempunyai titik lebur yang tinggi (2468 darjah) dan sifat superconducting yang sangat baik, dan sesuai untuk pemendapan bahan superconducting dan peranti elektronik.
Permohonan: Sasaran niobium digunakan secara meluas dalam bahan superconducting, peranti elektronik dan aeroangkasa.
Ciri-ciri: Sasaran zirkonium mempunyai rintangan kakisan yang baik dan biokompatibiliti, dan mempunyai titik lebur yang tinggi (1852 darjah), yang sesuai untuk pemendapan bahan-bahan tahan karat dan biokompatibel.
Permohonan: Sasaran zirkonium digunakan secara meluas dalam peranti perubatan, peralatan kimia dan peranti elektronik.
Ringkasnya, sepuluh sasaran sputtering tahan suhu tinggi di atas mempunyai ciri-ciri mereka sendiri dan digunakan secara meluas dalam semikonduktor, optik, fotovoltaik, peranti elektronik, peranti perubatan dan bidang lain. Dengan kemajuan sains dan teknologi dan perubahan dalam permintaan pasaran, penyelidikan dan pembangunan sasaran ini bergerak ke arah prestasi yang lebih tinggi, kos yang lebih rendah dan lebih mesra alam.
